top of page
Системы измерения и контроля
F-CUP
Измерительный зонд Фарадея для контроля и измерения параметров ионных пучков
Апертура: 1,5-2 мм
Измеряемый ток: 0.05–10 мА/см2
Максимальная энергия ионов: 1500 В
Предназначен для измерения плотности ионного тока и энергетического спектра ионов в процессах ионнно-лучевой обработки
PIEZO-01
Автоматическая система кварцевого контроля толщины и скорости роста покрытия
Рабочие частоты:
Точность измерения: 1 нм
Позволяет отслеживать скорость роста и толщину осаждаемого покрытия с точностью до 1 нм.
bottom of page