​Система откачки:

- форвакуумный пластинчато-роторный насос (скорость откачки: 1,5 л/с);
- турбомолекулярный насос (скорость откачки: 300 л/с по Азоту);
- двухпозиционное дросселирование скорости откачки с автоматическим приводом;
- широкодиапазонный датчик вакуума.

​

Газовая система:

- 2 или 3 линии подачи газа с автоматизированными РРГ расходом до 50 см3/мин.

​

​Технологические устройства:

-две ВЧ магнетронных распылительных системы - ORBIS2-RF с автоматическими заслонками;

-источник индукционного разряда - Mollis-ICP;

-вращающийся держатель подложек с ВЧ смещением - CARRIER-CCP;

​-кварцевый измеритель толщины - PIEZO-01;

 

Габаритные размеры: 750х650х750 мм.